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分析手段

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二次離子質(zhì)譜
發(fā)布時間: 2019-10-16 13:27:46

二次離子質(zhì)譜


應(yīng)用:痕量雜質(zhì)定性定量(標(biāo)樣法)分析



優(yōu)點:檢測限可達PPM,甚至PPB量級,能檢測含氫在內(nèi)的所有元素及同位素,分析化合物組分及有機大分子

             結(jié)構(gòu),能夠進行微區(qū)成分的成像及深度剖面分析


缺點:定量差,樣品表面需要平整,破壞樣品


應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體及微電子領(lǐng)域:基體表面痕量雜質(zhì)分析

環(huán)境領(lǐng)域:大氣中微粒成分分析、地質(zhì)樣品

納米材料的結(jié)構(gòu)

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